Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/999346318 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchungen zur reaktiven Abscheidung von TiNx und TiOx in einem DC-Magnetronplasma / vorgelegt von Stefan Wrehde |
| Person(en) | Wrehde, Stefan (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 44,5 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Wrehde, Stefan: Untersuchungen zur reaktiven Abscheidung von TiN1_tnX und TiO1_tnX in einem DC-Magnetronsplasma |
| Hochschulschrift | Greifswald, Univ., Diss., 2009 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:9-000717-9 |
| URL |
http://ub-ed.ub.uni-greifswald.de/opus/volltexte/2009/717/pdf/Diss_Wrehde_Stefan.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://ub-ed.ub.uni-greifswald.de/opus/volltexte/2009/717/index.html (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Magnetron ; Massenspektrometrie ; Beschichten ; Plasma-Wand-Wechselwirkung ; Reaktives Sputtern ; Titannitrid ; Titandioxid ; Röntgen-Photoelektronens |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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