Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/100809756X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Absolute number density and kinetic analysis of CF, CF2 and C2F4 molecules in pulsed CF_tn4/H2 rf plasmas / vorgelegt von: Sergey Stepanov |
| Person(en) | Stepanov, Sergey (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2010 |
| Umfang/Format | VI, 152 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Stepanov, Sergey: Absolute number density and kinetic analysis of CF, CF2 and C24 molecules in pulsed CF4,H2 rf plasmas |
| Hochschulschrift | Greifswald, Univ., Diss., 2010 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | IR-TDLAS ; Absorptionsspektroskopie ; Molekülkinetik ; Fluorkohlenstoffhaltigen Plasmen ; Hochfrequenzplasma |
| DDC-Notation | 530.446 [DDC22ger]; 539.60287 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Frankfurt |
Signatur: 2010 B 30477 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2010 B 39808 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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