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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Diagnostik und Modellierung einer planaren Magnetron-Sputterquelle / vorgelegt von Andreas Neuffer
Person(en) Neuffer, Andreas (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1999
Umfang/Format 113 S. : graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Stuttgart, Univ., Diss., 1999
Schlagwörter Magnetronsputtern ; Plasmadiagnostik ; Emissionsspektroskopie ; Langmuir-Sonde
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik ; 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 29 Physik, Astronomie
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 1999 A 2692
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1999 A 2692
Bereitstellung in Leipzig




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