Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Bücher
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Titel LPCVD silicon nitride and oxynitride films : material and apllications in integrated circuit technology / F. H. P. M. Habraken (ed.)
Person(en) Habraken, F. H. P. M. (Herausgeber)
Verlag Berlin ; Heidelberg ; New York ; London ; Paris ; Tokyo ; Hong Kong ; Barcelona ; Budapest : Springer
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1991
Umfang/Format X, 159 S. : Ill., graph. Darst. ; 25 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: LPCVD Silicon Nitride and Oxynitride Films
ISBN/Einband/Preis 978-3-540-53954-4 (Berlin ...) kart. : DM 36.00
3-540-53954-9 (Berlin ...) kart. : DM 36.00
978-0-387-53954-6 (New York ...) kart.
0-387-53954-9 (New York ...) kart.
Beziehungen Research reports ESPRIT / Project 369 ; Vol. 1
Anmerkungen Literaturangaben
Status nach VGG: lieferbar
Schlagwörter Siliciumoxinitride ; LPCVD-Verfahren ; Integrierte Schaltung
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik ; 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: D 92/23689
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: SA 37241-1
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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