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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Beiträge zur Entwicklung einer Technologieplattform für die Herstellung von oberflächennahen Mikrostrukturen mit hohen Aspektverhältnissen / vorgelegt von Christian Lohmann
Person(en) Lohmann, Christian (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2006
Umfang/Format X, 168 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Lohmann, Christian: Beiträge zur Entwicklung einer Technologieplattform für die Herstellung von oberflächennahen Mikrostrukturen mit hohen Aspektverhältnissen
Hochschulschrift Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2006 (Nicht für den Austausch)
Schlagwörter MEMS ; Sensortechnik
DDC-Notation 621 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2006 A 67031
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2006 A 80807
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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