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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1043072306
Art des Inhalts	Hochschulschrift
Titel	Fabrication and characterization of self-sensing and self-actuating piezoresistive microscale silicon cantilevers for an integrated scanning probe microscopy and scanning electron microscopy system / author: Ute Wenzel
Person(en)	Wenzel, Ute (Verfasser)
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2012
Umfang/Format	VIII, 146 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Andere Ausgabe(n)	Erscheint auch als Online-Ausgabe: Fabrication and characterization of self-sensing and self-actuating piezoresistive microscale silicon cantilevers for an integrated scanning probe microscopy and scanning electron microscopy system
Hochschulschrift	Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2012 (Nicht für den Austausch)
Sprache(n)	Deutsch (ger)
DDC-Notation	681.413 [DDC22ger]
Sachgruppe(n)	670 Industrielle und handwerkliche Fertigung
Weiterführende Informationen	Inhaltsverzeichnis

Frankfurt	Signatur: 2013 B 27245 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig	Signatur: 2013 B 29865 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig

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