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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/971022275
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Characterization of deep UV photoresist properties by infrared near-field scanning optical microscopy and related methods / vorgelegt von Jan Preußer
Person(en) Preußer, Jan (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2004]
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 5,4 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Characterization of deep UV photoresist properties by infrared near-field scanning optical microscopy and related methods
Hochschulschrift Clausthal, Techn. Univ., Diss., 2003
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:104-opus-353
URL http://bibliothek.tu-clausthal.de/OPUS/volltexte/2004/35/pdf/DISSERTATION.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://bibliothek.tu-clausthal.de/OPUS/volltexte/2004/35/index.html (Verlag)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Photoresist ; Optische Nahfeldmikroskopie ; Infrarotmikroskopie ; Online-Publikation
Sachgruppe(n) 530 Physik

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