Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "108764095"
Treffer 110 von 120
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/860908666 |
| Titel | Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren : Forschungsvorhaben NT 26970 d. Fraunhofer-Einrichtungen / FhG, Fraunhofer-Ges., Inst. für Produktionstechnik u. Automatisierung (IPA), Stuttgart ; Arbeitsgruppe für Integrierte Schaltungen (AIS), Erlangen. Autoren Rolf-Dieter Schraft ... |
| Person(en) | Schraft, Rolf Dieter (Verfasser) |
| Organisation(en) | Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Herausgebendes Organ) |
| Verlag | Stuttgart : IPA |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1986 |
| Umfang/Format | 313, 40 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| ISBN/Einband/Preis | kart. (Pr. nicht mitget.) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Anmerkungen | Status nach VGG: vergriffen |
| Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik ; 0800 Energiewirtschaft, Elektrotechnik, Elektronik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: D 86b/7434
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 1987 B 4185
Bereitstellung in Leipzig |
Treffer 110 von 120
Administration
