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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Oberflächenanalyse von Si-Wafern mit der Flugzeit-SIMS / vorgelegt von Ulrich Jürgens
Person(en) Jürgens, Ulrich (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1993
Umfang/Format II, 120 S. : Ill., graph. Darst. ; 25 cm
Hochschulschrift Münster (Westfalen), Univ., Diss., 1993 (Beschränkt für den Ausstausch)
Schlagwörter Siliciumhalbleiter ; Wafer ; Sekundärionen-Massenspektrometrie
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie ; 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 1994 A 7960
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1994 A 7960
Bereitstellung in Leipzig




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