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Artikel
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Titel Evaluation of ellipsometric porosimetry for in‐line characterization of ultra low‐κ dielectrics
Person(en) Licitra, C. (Verfasser)
Bertin, F. (Verfasser)
Darnon, M. (Verfasser)
Chevolleau, T. (Verfasser)
Guedj, C. (Verfasser)
Cetre, S. (Verfasser)
Fontaine, H. (Verfasser)
Zenasni, A. (Verfasser)
Chapelon, L. L. (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2023072606205589797120
DOI: 10.1002/pssc.200777776
URL https://doi.org/10.1002/pssc.200777776
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 20.02.2008
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Physica status solidi / C / Current topics in solid state physics (Bd. 5, 2008, Nr. 5: 1278-1282. 5 S.)

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