Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/990100804 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie / vorgelegt von Maik Häberlen |
| Person(en) | Häberlen, Maik (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2008] |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 18,2 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Häberlen, Maik: Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie |
| Hochschulschrift | Augsburg, Univ., Diss., 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:384-opus-9962 |
| URL |
http://www.opus-bayern.de/uni-augsburg/volltexte/2008/996/pdf/Dissertation_Haeberlen.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://www.opus-bayern.de/uni-augsburg/volltexte/2008/996/index.html (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Anmerkungen | Erscheinungsjahr an der Haupttitelstelle: 2006 |
| Schlagwörter | Ionenimplantation ; Siliciumcarbid ; Galliumnitrid ; Zinkoxid ; Substrat <Mikroelektronik> ; Silicium ; Epitaxie ; Molekularstrahlepitaxie |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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