Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Untersuchungen zur kontrollierten Einstellung von Schichttexturen mittels der zwei-Strahl-Sputterdeposition am Beispiel von TiN / Michael Schafft
Person(en) Schafft, Michael (Verfasser)
Ausgabe Als Ms. gedr.
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2000
Umfang/Format V, 106 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Zugl.: Kaiserslautern, Univ., Diss., 1999
ISBN/Einband/Preis 978-3-8265-7281-4 kart. : DM 89.00, sfr 89.00, S 619.00
3-8265-7281-5 kart. : DM 89.00, sfr 89.00, S 619.00
Beziehungen Berichte aus der Physik
Schlagwörter Titannitrid ; Dünne Schicht ; Sputtern ; Schichtwachstum ; Textur
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie ; 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2000 A 29948
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2000 A 29948
Bereitstellung in Leipzig




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