Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/976640929 |
| Titel | UV-Shearing-Interferometrie zur Vermessung lithografischer "Phase-Shift"-Masken und VUV-Strukturierung / G. Fütterer. Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg |
| Person(en) | Fütterer, Gerald (Verfasser) |
| Verlag | Erlangen : Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung, Univ. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2005 |
| Umfang/Format | V, 144 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-932392-61-0 kart. 3-932392-61-2 kart. |
| Beziehungen | Progress in modern optics ; 4 |
| Anmerkungen | Literaturverz. S. 139 - 144 |
| DDC-Notation | 621.3815310287 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Frankfurt |
Signatur: 2006 A 15440
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2006 A 27311
Bereitstellung in Leipzig |
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