Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/117818255X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption / Gerrit Heinrich ; Gutachter: Thomas Hannappel, Fritz Falk ; Betreuer: Gerhard Gobsch |
| Person(en) |
Heinrich, Gerrit (Verfasser) Gobsch, Gerhard (Akademischer Betreuer) Hannappel, Thomas (Gutachter) Falk, Fritz (Gutachter) |
| Verlag | Ilmenau : TU Ilmenau |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption |
| Hochschulschrift | Dissertation, Ilmenau, TU Ilmenau, 2014 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014000155 |
| URL | https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00024576 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Siliciumnitrid* ; Laserablation* ; Silicium* ; Ultrakurzzeitlaser* ; Laserimpuls* ; Dünnschichttechnik* ; Nichtlineare Optik* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger]; 537.24 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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