Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: swiRef=042609976
Treffer 115 von 163
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/956820662 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Plasmadiagnostische Charakterisierung der Magnetronentladung zur c-BN-Abscheidung / von: Thomas Welzel |
| Person(en) | Welzel, Thomas (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1998 |
| Umfang/Format | 103, XIII S. : graph. Darst. ; 21 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Welzel, Thomas: Plasmadiagnostische Charakterisierung der Magnetronentladung zur c-BN-Abscheidung |
| Hochschulschrift | Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1998 |
| Anmerkungen | Auch im Internet unter der Adresse http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/1999/0006 verfügbar |
| Schlagwörter |
CBN <Werkstoff> ; Magnetronsputtern ; Niederdruckentladung Niederdruckentladung ; Plasmadiagnostik ; Emissionsspektroskopie ; Langmuir-Sonde ; Laserinduzierte Fluoreszenz |
| Sachgruppe(n) | 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien ; 29 Physik, Astronomie |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: H 1999 A 145 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: H 1999 A 145 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
Treffer 115 von 163
Administration
