Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Ionenassistierte Deposition von Siliciumschichten / vorgelegt von Lars Oberbeck
Person(en) Oberbeck, Lars (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2001
Umfang/Format ca. 7,3 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Oberbeck, Lars: Ionenassistierte Deposition von Siliciumschichten
Hochschulschrift Stuttgart, Univ., Diss., 2001
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-8107
URL http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2001/810/pdf/Dissertation_Lars_Oberbeck_Druckversion.pdf
Schlagwörter Epitaxie ; Ionenstrahl ; Niedrigtemperatur ; Silicium ; Schichtwachstum ; Epitaxieschicht
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik ; 29 Physik, Astronomie

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