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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1305322908
Titel Effects of Crystallinity in Spin‐On Pure‐Silica‐Zeolite MFI Low‐Dielectric‐Constant Films †
Person(en) Li, Z. J. (Verfasser)
Li, S. (Verfasser)
Luo, H. M. (Verfasser)
Yan, Y. S. (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2023100807141961253116
DOI: 10.1002/adfm.200305147
URL https://doi.org/10.1002/adfm.200305147
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 18.10.2004
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced functional materials (Bd. 14, 2004, Nr. 10: 1019-1024. 6 S.)

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