Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=620.5
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/gnd/4706129-7 |
| Sachbegriff | Nanolithografie |
| Quelle | Internet |
| Erläuterungen | Definition: Herstellungsverfahren für Oberflächenstrukturen im Nanometerbereich |
| Synonyme |
Nanolithographie Nanolithography |
| Oberbegriffe |
Lithografie <Halbleitertechnologie> Nanotechnologie |
| DDC-Notation |
537.6221 621.38152 620.5 621.381531 |
| Systematik | 21.5 Plasma, Gas, Flüssigkeit, Festkörper ; 31.1d Werkstoffkunde, Werkstoffprüfung ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik |
| Typ | Allgemeinbegriff (saz) |
| Andere Normdaten |
LCSH: Nanolithography RAMEAU: Nanolithographie |
| Untergeordnet |
3 Datensätze
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| Thema in |
42 Publikationen
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| Maschinell verknüpft mit |
3 Publikationen
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