Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1029141908 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Rare earth oxide thin films from solution based inorganic precursor deposition as potential candidates for insulators in advanced gate stacks : deposition mechanism and performance studies [[Elektronische Ressource]] / Maraike Ahlf. Betreuer: Katharina Al-Shamery |
| Person(en) |
Ahlf, Maraike (Verfasser) Shamery, Katharina al- (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Oldenburg : IBIT - Universitätsbibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Ahlf, Maraike: Rare earth oxide thin films from solution based inorganic precursor deposition as potential candidates for insulators in advanced gate stacks |
| Hochschulschrift | Oldenburg, Universität Oldenburg, Diss., 2012 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:715-oops-14912 |
| URL | http://oops.uni-oldenburg.de/volltexte/2012/1491/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Seltenerdmetall ; Oxide ; Dünne Schicht ; Halbleiter ; Abscheidung ; Halbleiter ; Halbleiterbauelement ; Halbleiterelektronik |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 660 Technische Chemie |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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