Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1366372263 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Piezoelektrische Mikrosysteme : Entwurf, Fertigung und Charakterisierung piezoelektrischer mikroelektromechanischer Wandlersysteme auf Basis von Aluminiumnitrid / Chris Stöckel ; Gutachter: Harald Kuhn, Jan Mehner, Ulrike Wallrabe ; Betreuer: Harald Kuhn |
| Person(en) |
Stöckel, Chris (Verfasser) Kuhn, Harald (Gutachter) Kuhn, Harald (Akademischer Betreuer) Mehner, Jan (Gutachter) Wallrabe, Ulrike (Gutachter) |
| Organisation(en) | Universitätsbibliothek (Chemnitz) (Verlag) |
| Verlag | Chemnitz : Universitätsverlag Chemnitz - Chemnitz : Technische Universität Chemnitz |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2025 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Stöckel, Chris: Piezoelektrische Mikrosysteme |
| Hochschulschrift | Habilitationsschrift, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2025 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-962770 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | MEMS ; Piezoelektrisches Bauelement ; Aluminiumnitrid ; Dünne Schicht ; Piezoelektrischer Wandler ; Entwurf ; Mikrofertigung |
| DDC-Notation | 621 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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