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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Rare earth implanted MOS devices for silicon photonics / von Lars Rebohle
Person(en) Rebohle, Lars (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2013
Umfang/Format XIV, 191 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Hochschulschrift Freiberg (Sachsen), Techn. Univ., Habil.-Schr., 2013
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter MOS ; Seltenerdmetall ; Siliciumdioxid ; Ionenimplantation ; Elektrolumineszenz ; Photonik
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 530 Physik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2014 B 16301
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2014 B 23825
Bereitstellung in Leipzig




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