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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption / Gerrit Heinrich ; Gutachter: Thomas Hannappel, Fritz Falk ; Betreuer: Gerhard Gobsch
Person(en) Heinrich, Gerrit (Verfasser)
Gobsch, Gerhard (Akademischer Betreuer)
Hannappel, Thomas (Gutachter)
Falk, Fritz (Gutachter)
Verlag Ilmenau : TU Ilmenau
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2014
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption
Hochschulschrift Dissertation, Ilmenau, TU Ilmenau, 2014
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014000155
URL https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00024576 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Siliciumnitrid* ; Laserablation* ; Silicium* ; Ultrakurzzeitlaser* ; Laserimpuls* ; Dünnschichttechnik* ; Nichtlineare Optik* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 530.4175 [DDC22ger]; 537.24 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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