Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/999039717 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle / Ronald Hellriegel |
| Person(en) | Hellriegel, Ronald (Verfasser) |
| Verlag | Norderstedt : Books on Demand |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Hellriegel, Ronald: Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen |
| Hochschulschrift | Zugl.: Diss., TU Dresden |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-20091213359 |
| URL | http://www.bod.de/index.php?id=296&objk_id=221762 (Verlag) |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8391-0693-8 |
| EAN | 9783839106938 |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig. - Vom Verlag als Druckwerk on demand angeboten |
| Schlagwörter | Aufdampfen ; Titannitrid ; Vakuumkammer ; Ablagerung ; Reinigung ; Plasmaätzen |
| DDC-Notation | 671.735028 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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