Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/998327697 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Capacitive surface-micromachined pressure sensors on fused silica : contributions to micromachining on fused silica / Timo Schary |
Person(en) | Schary, Timo (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
Umfang/Format | XXI, 319 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Schary, Timo: Capacitive surface-micromachined pressure sensors on fused silica |
Hochschulschrift | Bremen, Univ., Diss., 2009 (Nicht für den Austausch) |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
Frankfurt |
Signatur: 2010 B 2756 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2010 B 11808 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
