Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/996520090 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Ein MEMS-Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip / Dirk Tenholte |
| Person(en) | Tenholte, Dirk (Verfasser) |
| Verlag | Münster : Verl.-Haus Monsenstein und Vannerdat |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
| Umfang/Format | 186 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-941003-04-0 kart. : EUR 13.80 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Vakuumsensor ; MEMS ; Geräteentwicklung |
| DDC-Notation | 681.2 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2009 A 49182
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2009 A 86554
Bereitstellung in Leipzig |
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