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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Untersuchungen der optischen Plasma-Emission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung / von Volker Kirchhoff
Person(en) Kirchhoff, Volker (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1997
Umfang/Format V, 87 S. : graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Magdeburg, Univ., Diss., 1997
Schlagwörter Magnetronsputtern ; Schichtwachstum ; Plasmadiagnostik
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie ; 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 1998 A 165
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1998 A 165
Bereitstellung in Leipzig




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