Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1368133517 |
| Titel | Additive manufacturing of piezoelectric thin films with perovskite and fluorite structure by chemical solution deposition for MEMS applications / Jan Lübben ; Rainer Waser, Arnold Gillner |
| Person(en) |
Lübben, Jan (Verfasser) Waser, Rainer (Akademischer Betreuer) Gillner, Arnold (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Aachen : Universitätsbibliothek der RWTH Aachen |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2025 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Hochschulschrift | Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2025 |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2506080134014.071668041564 DOI: 10.18154/RWTH-2025-04671 |
| URL | https://publications.rwth-aachen.de/record/1011717 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Aachen : RWTH Aachen University, 2025 |
| Schlagwörter | MEMS* ; Ferroelektrikum* ; Rapid Prototyping <Fertigung>* ; Dünne Schicht* ; Dünnschichttechnik* ; Piezoelektrizität* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 537.2 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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