Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
Neuigkeiten Mittwoch, 19. November 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Störungssystematikbestimmte Instandhaltung in einem Wafertransportsystem / Torsten Niekisch. Technische Universität Dresden, IPT, Institut für Produktionstechnik, Professur Fertigungsmeßtechnik und Qualitätssicherung
Person(en) Niekisch, Torsten (Verfasser)
Verlag Dresden : IPT, Professur Fertigungstechnik und Qualitätssicherung
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2001
Umfang/Format 102, XIII S. : graph. Darst. ; 21 cm + 1 CD-ROM
Hochschulschrift Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2001
ISBN/Einband/Preis kart.
Schlagwörter Infineon Technologies AG ; Wafer ; Transportsystem ; Schwachstellenanalyse ; Instandhaltung
Sachgruppe(n) 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2002 A 13116
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2002 A 13116
Bereitstellung in Leipzig




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