Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Dienstag, 17. Juni 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek ist wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten geschlossen. Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums in Leipzig sind von 10 bis 18 Uhr geöffnet. Die Ausstellungen des Deutschen Exilarchivs 1933-1945 in Frankfurt sind geschlossen. // Tuesday, 17 June 2025: The German National Library will be closed at both locations due to a staff meeting. The exhibitions of the German Museum of Books and Writing in Leipzig will open from 10:00 to 18:00. The exhibitions of the German Exile Archive 1933-1945 in Frankfurt will be closed.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen / Alexander Leopold
Person(en) Leopold, Alexander (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2003
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 1,1 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Leopold, Alexander: Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen
Hochschulschrift München, Techn. Univ., Diss., 2003
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:91-diss2003012907740
URL http://mediatum2.ub.tum.de/doc/601295/document.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Silicium ; Wafer ; Oberflächenreinigung ; Wasserstoffperoxid ; Komplexbildner ; Einstufenprozess
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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