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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Charakterisierung eines ECWR-Plasmas in Silan und dessen Anwendung zur Abscheidung von nc-Si:H-Schichten / Michael Scheib
Person(en) Scheib, Michael (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1996
Umfang/Format 149 Bl. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Hochschulschrift Kaiserslautern, Univ., Diss., 1996 (Nicht für den Austausch)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Silicium ; Nanostrukturiertes Material ; Wasserstoff ; PECVD-Verfahren ; Silan ; Plasmadiagnostik
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 1996 B 1295
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1996 B 1295
Bereitstellung in Leipzig




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