Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/997910267 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Erzeugung mikro- und nanodimensionaler Strukturen in Resist- und Halbleitermaterialien mittels Protonenstrahlschreiben / vorgelegt von Frank Menzel |
Person(en) | Menzel, Frank (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
Umfang/Format | 217 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
Hochschulschrift | Leipzig, Univ., Diss., 2009 |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
DDC-Notation | 530.411 [DDC22ger]; 537.56 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Frankfurt |
Signatur: 2009 B 22480
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2009 B 37835
Bereitstellung in Leipzig |
