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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Plasmadiagnostische und oberflächenanalytische Untersuchungen zum Mechanismus der Abscheidung reaktiv gesputterter TiNx-Schichten / Roman Roth
Person(en) Roth, Roman (Verfasser)
Ausgabe Als Ms. gedr.
Verlag Düsseldorf : VDI-Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1996
Umfang/Format IX, 103 S. : graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss.
ISBN/Einband/Preis 978-3-18-342305-7 kart. : DM 73.00 (nicht im Sortimentsbuchh.)
3-18-342305-7 kart. : DM 73.00 (nicht im Sortimentsbuchh.)
Beziehungen Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / Reihe 5 / Grund- und Werkstoffe, Kunststoffe ; Nr. 423
Schlagwörter Titannitrid ; Magnetronsputtern ; Plasmadiagnostik
Titannitrid ; Magnetronsputtern ; Dünne Schicht ; Oberflächenanalyse
Sachgruppe(n) 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien ; 29 Physik, Astronomie ; 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 1996 A 14300
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 1996 A 14300
Bereitstellung in Leipzig




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