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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/987096052
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Untersuchungen zu Schichtwachstum und Grenzflächen an Ta-basierten Dünnschichten mittels XPS / vorgelegt von Michael Zier
Person(en) Zier, Michael (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 11,1 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Zier, Michael: Untersuchungen zu Schichtwachstum und Grenzflächen an Ta-basierten Dünnschichten mittels XPS
Hochschulschrift Dresden, Techn. Univ., Diss., 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:swb:14-1196176876848-09306
URL http://hsss.slub-dresden.de/documents/1196176876848-0930/1196176876848-0930.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://hsss.slub-dresden.de/deds-access/hsss.urlmapping.MappingServlet?id=1196176876848-0930 (Verlag)
Sprache(n) Deutsch (ger)
DDC-Notation 530.4175 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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