Neuartige Methoden diffraktiver Mask Aligner Lithografie zur flexiblen Erzeugung mikrooptischer Strukturen

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Art des Inhalts	Hochschulschrift
Titel	Neuartige Methoden diffraktiver Mask Aligner Lithografie zur flexiblen Erzeugung mikrooptischer Strukturen / Tina Weichelt ; Gutachter: Andreas Tünnermann, Hartmut Bartelt, Norbert Lindlein
Person(en)	Weichelt, Tina (Verfasser) Tünnermann, Andreas (Gutachter) Bartelt, Hartmut (Gutachter) Lindlein, Norbert (Gutachter)
Verlag	Jena : Friedrich-Schiller-Universität Jena
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2019
Umfang/Format	Online-Ressource
Hochschulschrift	Dissertation, Jena, Friedrich-Schiller-Universität Jena, 2019
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:gbv:27-dbt-20190909-160725-008 DOI: 10.22032/dbt.39357
URL	https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00039357 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n)	Deutsch (ger)
Schlagwörter	Lithografie <Halbleitertechnologie>* ; Herstellung* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation	621.38153 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n)	621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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