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Titel Thermodynamic Investigation of the Effect of Target Compositions and Conditions of Their Magnetron Sputtering on Phase Compositions of the Resulting Films / by T. D. Malinovskaya, V. I. Sachkov, S. A. Sosnovskii, V. V. Zhek
Person(en) Malinovskaya, T. D. (Verfasser)
Sachkov, V. I. (Verfasser)
Sosnovskii, S. A. (Verfasser)
Zhek, V. V. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2019010320430958513598
DOI: 10.1007/s11182-018-1524-1
URL https://doi.org/10.1007/s11182-018-1524-1
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2018
DDC-Notation 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Russian physics journal (Bd. 61, 7.11.2018, Nr. 7, date:11.2018: 1241-1246)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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