Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten

Leichte Bedienung, intuitive Suche: Die Betaversion unseres neuen Katalogs ist online! → Zur Betaversion des neuen DNB-Katalogs

 
Neuigkeiten 24. Dezember 2025 bis 1. Januar 2026: Die Deutsche Nationalbibliothek bleibt an beiden Standorten geschlossen. // 24 December 2025 to 1 January 2026: The German National Library will be closed at both locations.
 
 

Ergebnis der Suche nach: swiRef=041760743

Zurück zur Trefferliste


Treffer 144 von 154 < < > <



Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/962053333
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung / Thomas Schafbauer
Person(en) Schafbauer, Thomas (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2001
Umfang/Format ca. 4,1 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schafbauer, Thomas: Entwicklung neuer physikalischer Optimierungs- und Regelungsverfahren für thermische Reaktoren in der Halbleiterprozessierung
Hochschulschrift München, Techn. Univ., Diss., 2001
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:91-diss2001040215442
URL http://tumb1.biblio.tu-muenchen.de/publ/diss/ei/2001/schafbauer.pdf
Schlagwörter Rapid thermal processing ; Halbleitertechnologie ; Siliciumbauelement ; Prozessregelung ; Prozessoptimierung ; Online-Publikation
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik

Online-Zugriff Archivobjekt öffnen




Treffer 144 von 154
< < > <




Aktionen

Aktionen


E-Mail-IconKorrekturanfrage

E-Mail-IconAdministration