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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozessplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung / vorgelegt von Christian Jakob Schiffer
Person(en) Schiffer, Christian Jakob (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1995
Umfang/Format IV, 139, VIII S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Düsseldorf, Univ., Diss., 1995
Schlagwörter Argon ; Methan ; Plasma ; PECVD-Verfahren ; Plasmadiagnostik
Sauerstoff ; Plasma ; Plasmadiagnostik
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 1995 A 4606
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1995 A 4606
Bereitstellung in Leipzig




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