Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung eines Verfahrens zur Bestimmung der mechanischen Festigkeit und Dichtheit von metallischen Bondschichten mikromechanischer Inertialsensoren / Arnold Schneider
Person(en) Schneider, Arnold (Verfasser)
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2013
Umfang/Format XV, 153 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 258 g
Hochschulschrift Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2012
ISBN/Einband/Preis 978-3-8440-1715-1 kart. : EUR 48.80 (DE), EUR 48.80 (AT), sfr 61.00 (freier Pr.)
EAN 9783844017151
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Berichte aus der Mikrosystemtechnik
Schlagwörter Beschleunigungssensor ; Herstellung ; Wafer ; Bonden ; Schweißverbindung ; Verbundverhalten ; Bruchverhalten ; Scherfestigkeit ; Prüfstand
DDC-Notation 681.2 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2013 A 80734
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2013 A 103093
Bereitstellung in Leipzig




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