Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1001138465 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchungen zur reaktiven Abscheidung von TiN1_tnX und TiO1_tnX in einem DC-Magnetronsplasma / vorgelegt von Stefan Wrehde |
| Person(en) | Wrehde, Stefan (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
| Umfang/Format | 155 S. : Ill., graph. Darst. ; 31 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Wrehde, Stefan: Untersuchungen zur reaktiven Abscheidung von TiNx und TiOx in einem DC-Magnetronplasma |
| Hochschulschrift | Greifswald, Univ., Diss., 2009 (Nicht für den Austausch) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Magnetron ; Massenspektrometrie ; Beschichten ; Plasma-Wand-Wechselwirkung ; Reaktives Sputtern ; Titannitrid ; Titandioxid ; Röntgen-Photoelektronens |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Frankfurt |
Signatur: 2010 B 10407 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2010 B 12761 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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