Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/113072994X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung einer leistungsfähigen Detektions-Elektronik für die Multispitzen-Rastersondenmikroskopie zur Fehleranalyse an integrierten Schaltungen / Richard Spiegelberg ; Bert Voigtländer, Rainer Waser, Markus Morgenstern |
| Person(en) |
Spiegelberg, Richard (Verfasser) Voigtländer, Bert (Akademischer Betreuer) Waser, Rainer (Akademischer Betreuer) Morgenstern, Markus (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Aachen : Universitätsbibliothek der RWTH Aachen |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2016 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Dissertation, RWTH Aachen, 2015 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:82-rwth-2016-011230 |
| URL | http://publications.rwth-aachen.de/record/568175 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Rastersondenmikroskopie* ; Detektion* ; Elektronik* (*maschinell ermittelt) |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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