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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Darstellung und Charakterisierung dünner Schichten des Hochtemperatursupraleiters YBa2Cu3O7-δ
Kinetik der Bildung von SixHy-Clustern in einer SiH4-Entladung
Walter Böhme
Person(en) Böhme, Walter (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1994
Umfang/Format 128 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift München, Techn. Univ., Diss., 1994
Schlagwörter Hochtemperatursupraleiter ; Dünne Schicht ; PECVD-Verfahren ; Plasmadiagnostik
Reinraumtechnik ; PECVD-Verfahren ; Silan ; Staub ; Kontamination
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik ; 30 Chemie ; 29 Physik, Astronomie
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 1994 A 5773
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1994 A 5773
Bereitstellung in Leipzig




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