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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1109750226
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Herstellung SiO2-basierter nano- und mikroskaliger Strukturen via UV-Nanoimprintlithographie auf Basis hybridpolymerer Sol-Gel-Materialien / Franziska Back. Gutachter: Peer Löbmann ; Reinhold Tacke
Person(en) Back, Franziska (Verfasser)
Löbmann, Peer (Gutachter)
Tacke, Reinhold (Gutachter)
Verlag Würzburg : Universität Würzburg
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2015
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Back, Franziska: Herstellung SiO-2-basierter nano- und mikroskaliger Strukturen via UV-Nanoimprintlithographie auf Basis hybridpolymerer Sol-Gel-Materialien
Hochschulschrift Dissertation, Würzburg, Universität Würzburg, 2014
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:20-opus-107713
URL https://opus.bibliothek.uni-wuerzburg.de/frontdoor/index/index/docId/10771 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Sol-Gel-Verfahren ; Nanoprägen ; Temperaturbeständigkeit ; Nanotechnologie
Nanoprägen* ; Lithografie <Halbleitertechnologie>* ; Temperaturbeständigkeit* ; Material* ; Dünnschichtsolarzelle* ; Stempel <Umformen>* ; Herstellung* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 620.5 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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