Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1109750226 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Herstellung SiO2-basierter nano- und mikroskaliger Strukturen via UV-Nanoimprintlithographie auf Basis hybridpolymerer Sol-Gel-Materialien / Franziska Back. Gutachter: Peer Löbmann ; Reinhold Tacke |
Person(en) |
Back, Franziska (Verfasser) Löbmann, Peer (Gutachter) Tacke, Reinhold (Gutachter) |
Verlag | Würzburg : Universität Würzburg |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2015 |
Umfang/Format | Online-Ressource |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Back, Franziska: Herstellung SiO-2-basierter nano- und mikroskaliger Strukturen via UV-Nanoimprintlithographie auf Basis hybridpolymerer Sol-Gel-Materialien |
Hochschulschrift | Dissertation, Würzburg, Universität Würzburg, 2014 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:20-opus-107713 |
URL | https://opus.bibliothek.uni-wuerzburg.de/frontdoor/index/index/docId/10771 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter |
Sol-Gel-Verfahren ; Nanoprägen ; Temperaturbeständigkeit ; Nanotechnologie Nanoprägen* ; Lithografie <Halbleitertechnologie>* ; Temperaturbeständigkeit* ; Material* ; Dünnschichtsolarzelle* ; Stempel <Umformen>* ; Herstellung* (*maschinell ermittelt) |
DDC-Notation | 620.5 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
