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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Verfahren zur Bestimmung der Dotierungsdichteverteilung in Siliziumscheiben mit dem Raster-Elektronenmikroskop
Person(en) Weber, Martin (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1980
Umfang/Format [7], 118 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Hochschulschrift München, Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik, Diss., 1980
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Dotierung / Dichteverteilung in Siliziumscheiben ; Silizium / Dotierungsdichteverteilung in ̃scheiben
Sachgruppe(n) 0800 Energiewirtschaft, Elektrotechnik, Elektronik ; 20a Technik, Industrie, Gewerbe
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 81b/1566
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: Di 1981 B 5184
Bereitstellung in Leipzig




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