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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/948778857 |
| Titel | Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen / von Silvia Knappe, Clemens Elster und Cornelia Assmann. Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Elektronische Entwicklung ; [Physikalisch-Technische Bundesanstalt. Hrsg.: Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig und Berlin, Referat Öffentlichkeitsarbeit, Schrifttum] |
| Person(en) |
Knappe, Silvia (Verfasser) Elster, Clemens (Verfasser) Assmann, Cornelia (Verfasser) |
| Verlag | Bremerhaven : Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss. |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1995 |
| Umfang/Format | 44 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-89429-910-1 kart. : DM 22.50 3-89429-910-X kart. : DM 22.50 |
| Identifikationsnummern | Reportnummer: PTB EW 7 |
| Schlagwörter | Niob ; Dünne Schicht ; Sputtern ; Prozessoptimierung ; Versuchsplanung |
| Sachgruppe(n) | 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 37 Elektrotechnik ; 42 Technische Chemie, Lebensmitteltechnologie, Textiltechnik und andere Technologien ; 29 Physik, Astronomie |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 1996 B 18358
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 1996 B 18358
Bereitstellung in Leipzig |
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