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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Untersuchungen zum Einfluss von Substrat- und Reaktormaterialien auf die Strukturierung der poly-Sigate-Ebene beim Trockenätzen in Hochfrequenzplasmen für integrierte Siliziumschaltkreise / vorgelegt von Peter Hoffmann
Person(en) Hoffmann, Peter (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1994
Umfang/Format 156 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Berlin, Techn. Univ., Diss., 1994
Schlagwörter Gaselektronik ; MOS-FET ; Dünnschichttechnik ; Silicium-Gate-Technologie ; Plasmadiagnostik ; Prozessführung <Technik>
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 1994 A 8792
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1994 A 8792
Bereitstellung in Leipzig




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