Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Donnerstag, 11. September 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek öffnet wegen eines Beschäftigtentreffens an beiden Standorten erst um 15 Uhr. // Thursday, 11 September 2025: The German National Library will not open until 15:00 due to a staff meeting at both locations.
 
 

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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1019871032
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Analytische Charakterisierung der Ätzrückstände nach dem Plasmaätzverfahren in der Aluminium-Strukturierung / Maria Heidenblut
Person(en) Heidenblut, Maria (Verfasser)
Verlag Kiel : Universitätsbibliothek Kiel
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format Online-Ressource
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Heidenblut, Maria: Analytische Charakterisierung der Ätzrückstände nach dem Plasmaätzverfahren in der Aluminium-Strukturierung
Hochschulschrift Kiel, Christian-Albrechts-Universität, Diss., 2009
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:8-diss-41679
URL http://eldiss.uni-kiel.de/macau/receive/dissertation_diss_00004167 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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