Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/931488109 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Plasmadiagnostik an einem mikrowellenangeregten Prozessplasma zur Erzeugung amorpher C-H-Schichten / Falk Hummernbrum |
| Person(en) | Hummernbrum, Falk (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Aufl. |
| Verlag | Berlin : Köster |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1993 |
| Umfang/Format | IV, 212 S. : graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Düsseldorf, Univ., Diss., 1993 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-929937-16-9 kart. : DM 34.00 3-929937-16-6 kart. : DM 34.00 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Wissenschaftliche Schriftenreihe Physik ; Bd. 3 |
| Anmerkungen | Status nach VGG: vergriffen |
| Schlagwörter | Kohlenstoff ; Dünne Schicht ; Amorpher Zustand ; Wasserstoffzusatz ; PECVD-Verfahren ; Plasmadiagnostik |
| Sachgruppe(n) | 29 Physik, Astronomie |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 1993 A 47244
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 1993 A 47244
Bereitstellung in Leipzig |
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