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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/982281218 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Influence of the plasma chemistry and energetics on the composition and structure evolution of sputtered oxide thin films / vorgelegt von Stanislav Mráz |
| Person(en) | Mráz, Stanislav (Verfasser) |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 1,4 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Mráz, Stanislav: Influence of the plasma chemistry and energetics on the composition and structure evolution of sputtered oxide thin films |
| Hochschulschrift | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-16632 |
| URL |
http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2006/1663/pdf/Mraz_Stanislav.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2006/1663/ (Verlag) |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-8322-5522-0 3-8322-5522-2 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Materials chemistry dissertation ; No. 07 |
| Schlagwörter |
Oxidschicht ; Sputtern ; Plasmachemie ; Online-Publikation Übergangsmetalloxide ; Dünne Schicht ; Magnetronsputtern ; Sauerstoff ; Partialdruck |
| DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik ; 540 Chemie |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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