Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
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Neuigkeiten Die Lesesäle für Geisteswissenschaften, Naturwissenschaften, der Alte Lesesaal Technik und der Anne-Frank-Shoah-Lesesaal in Leipzig schließen am 04.02.2026 wegen einer Veranstaltung bereits um 15 Uhr. Die weiteren Lesesäle sowie die Servicetheke sind zu den regulären Zeiten geöffnet. //
The humanities reading room, the natural science reading room, the old technology reading room and the reading room of the Anne-Frank-Shoah-Library will close at 15:00 on 4 February 2026 due to an event. The other reading rooms and the service desk will be open during regular hours.
 
 

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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1387845764
Titel Lithography Alignment Technologies: A Comprehensive Review of Advances and Challenges
Person(en) Xu, Feifan (Verfasser)
Zhang, Jin (Verfasser)
Li, Weishi (Verfasser)
Pan, Chengliang (Verfasser)
Xia, Haojie (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2601241308097.261000060182
DOI: 10.1002/lpor.202501998
URL https://doi.org/10.1002/lpor.202501998
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 24.01.2026
DDC-Notation 535.2 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Laser & photonics reviews (24.01.2026. 46 S.)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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