Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Mittwoch, 19. November 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen.
 
 

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Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1015736424
Titel Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik
Ausgabe Dritte Auflage
Verlag Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2004
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:1111-20111003669
DOI: 10.1007/978-3-642-18769-8
URL https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-642-18769-8 (Verlag)
ISBN/Einband/Preis 978-3-642-18769-8
EAN 9783642187698
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Niederdruckplasma
Trockenätzen
Plasmadiagnostik
Lithografie <Halbleitertechnologie> ; Ionenstrahlbearbeitung
Hochfrequenzentladung ; Niederdruckplasma
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 530 Physik

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